> 春日电机真空兼容静电势传感器 KS-3101在真空中，缓解静电的气体成分很少见，因此静电比在大气压环境中更容易导致严重的生产问题。
真空兼容静电位传感器由可在真空环境中使用的材料和组件制成，可用于测量真空中产生的静电。 它应该用于识别真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电位。
该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压的充电板电位的测量结果。 即使在不同的压力环境下（真空下为10-3 Pa，大气压下为10+5 Pa），无需校准即可获得相同的读数。
* 此数据为实际测量值，并非保证值。
●释气分析与比较
对传感器排放的释气的分析证实，气体的主要成分是水和痕量碳氢化合物。 由于每个峰值都与背景中测得的峰值相同，因此认为它来自环境中吸附在传感器表面的气体。
● 极限真空度对比
排气系统：涡轮分子泵 TG220FCAB 由大阪真空设备制造
株式会社制造 抽速：220 L/sec （N2）
腔室尺寸：φ300 × L 300mm
* 此数据为实际测量值，并非保证值。
| 型 | KS-3101型 |
|---|---|
| 检测方法 | 振动表面电位传感器 |
| 推荐使用的真空吸尘器 | 10 5Pa （大气压）， 10 -1~10 -5爸爸 |
| 测量范围 |
HIGH范围：0~±20.0kV（测量距离100mm）
低量程：0~±2000V（测量距离10mm）
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| 测量精度 | ±10%以内 |
| 报警 | 检测传感器故障 LED 指示 |
| 使用环境 | 温度：0~40°C，湿度65%以下（无凝露） |
| 质量 | 约130g（不含电缆和控制箱） |
| 配置要点 |
真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度 1 m，可延长）
控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可伸缩）
控制器：KSD-0110
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* 请由客户准备真空法兰。
KSD-0110：带触摸屏和SD卡的高性能型
* 请从此处查看控制器 KSD-0110 的规格。
（1） 测量部分
（2） 调零单元
（3） 外壳（不锈钢镜面饰面）
（4） 安装垫片（铁氟龙）
（5） 量程选择开关
（6） 操作/故障指示灯
（7） 充电指示灯 lamp （0， +， -）
（8） 专用电缆（带连接器）
| 产品名称 : | 春日电机真空兼容静电势传感器 KS-3101 |
| 产品品牌 : | 春日电机 |
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