春日电机微波-等离子体-静电-消除系统MPNS-01

在高真空下可以消除静电

在真空中，缓解静电的气体成分很少见，因此静电比在大气压环境中更容易导致严重的生产问题。 微波等离子体静电消除处理系统可以通过高真空工艺消除电力，这在过去是很难做到的。

小行星探测器隼鸟2号的离子发动机技术在与日本宇宙航空研究开发机构（JAXA）的联合研究中应用于地面。

总结

在真空中，缓解静电的气体成分被稀释，因此静电比在大气压环境中引起更严重的生产问题，并且由于气体成分在一般静电消除器（离子发生器）中也被稀释，因此很难消除电力。

微波等离子体静电消除处理系统可以通过高真空工艺消除电力，这在过去是很难做到的。

系统范围的配置

离子电流特性

• 测得的离子电流值是即使薄膜的输送速度为1000 m/min，也可以消除的值。
• 只要没有障碍物，即使在2米外的地方也可以消除静电消除范围。