春日电机真正的等离子 APG-500

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Real Plasma是一种等离子处理系统，它利用来自高频和高压的电能来照射放电喷嘴内产生的类似等离子体的电离气体，以改变被处理物体的表面并去除有机物。由于等离子体几乎是电中性的，因此对待处理的基板没有电或热损伤，并且可以处理敏感基板的表面，例如印刷线路板和液晶面板。

等离子体是仅次于固体、液体和气体的第四种物质状态，据说是气体分子电离、分离成电子和阳离子并运动的状态。真正的等离子体使用电能来产生等离子体。

输入功率		单相AC200V/220V，50/60Hz
电源容量		1000VA的
送风源		150NL/min 0.5Mpa以上 *可排出200L/min以上的无油气源
送风口		φ10 一键式接头
加工宽度		24mm（使用GAP 5mm空气时 *根据要处理的物体的材料和形状而有所不同）
安装距离		5~10mm（从喷嘴尖端到工件）
框架温度		68°C（酒精温度计，2分钟，Ta=21°C）
要处理的对象		塑料、玻璃、金属、半导体、电子基板
大小	振荡器 AGF-B20R	250×180×300毫米
	等离子单元 APG-500	400×270×345毫米
	等离子云台 PH-500	320×63×106毫米
质量	振荡器 AGF-B20R	11公斤
	等离子单元 APG-500	8.9千克
	等离子云台 PH-500	2.2千克
环境		温度：5°C~40°C，湿度17%~70%RH（无凝露）

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